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GC-AED在高纯磷烷特种气体杂质分析检测领域的研究应用
文献摘要：
对GC-AED光谱分析检测技术在高纯特气分析检测领域做了应用研究,首次在国内实现高纯磷烷中锗烷杂质的分析检测,锗烷检出限低于0.5×10-9,为高迁移率电子器件及探测器外延应用提供有效指导.
文献关键词：
GC-AED(色谱-原子发射光谱检测器);磷烷;锗烷;砷烷
中图分类号：
作者姓名：
朱颜;乔洋;陈化冰;黄呈熙
作者机构：
苏州南大光电材料有限公司,江苏 苏州215028;JAS联合分析系统公司,美国 特拉华 纽瓦克19713
文献出处：
引用格式：
[1]朱颜;乔洋;陈化冰;黄呈熙-.GC-AED在高纯磷烷特种气体杂质分析检测领域的研究应用)[J].低温与特气,2022(03):38-41
A类：
杂质分析检测,锗烷
B类：
AED,高纯,磷烷,特种气体,气体杂质,检测领域,研究应用,光谱分析,分析检测技术,气分,检出限低,高迁移率,电子器件,探测器,有效指导,原子发射光谱,光谱检测,检测器,砷烷
AB值：
0.364082
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