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TiZrHf中熵合金表面MPCVD法制备金刚石-碳化物涂层及其摩擦磨损性能研究
文献摘要：
采用微波等离子化学气相沉积(MPCVD)法,以高纯甲烷和氢气为反应气体,在TiZrHf中熵合金表面碳化-沉积获得碳化物/金刚石涂层.利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损等方法表征了不同甲烷浓度条件下涂层的组织结构、物相组成、硬度及耐磨性能.结果 表明,碳化-沉积后涂层的主要成分为金属碳化物和纳米金刚石颗粒,表面硬度明显提升.其中,甲烷浓度为3％时,涂层的表面硬度最高(约660.2 HV),摩擦系数最低,且耐磨性得到极大改善.
文献关键词：
TiZrHf合金;MPCVD;碳化物;纳米金刚石颗粒;摩擦磨损
中图分类号：
作者姓名：
薛晨;王永胜;于盛旺;黑鸿君;高洁;马永;周兵;吴艳霞
作者机构：
太原理工大学材料科学与工程学院,山西太原030000
文献出处：
引用格式：
[1]薛晨;王永胜;于盛旺;黑鸿君;高洁;马永;周兵;吴艳霞-.TiZrHf中熵合金表面MPCVD法制备金刚石-碳化物涂层及其摩擦磨损性能研究)[J].热加工工艺,2022(04):87-90,99
A类：
TiZrHf,等离子化学气相沉积,纳米金刚石颗粒
B类：
中熵合金,金表,MPCVD,摩擦磨损性能,高纯,氢气,表面碳化,金刚石涂层,显微硬度,硬度计,甲烷浓度,物相组成,耐磨性能,金属碳化物,表面硬度,HV,摩擦系数
AB值：
0.190086
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