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FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的应用
文献摘要：
FIB-SEM(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope)双束系统是集聚焦离子束和扫描电子显微镜与一体的系统,其最大的优势是可以实现离子束切割或微加工的同时用电子束实时观察的功能.主要介绍FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的常见应用,如盲孔孔底分析、杂物失效分析和晶体结构分析.
文献关键词：
FIB-SEM双束系统;PCB;IC载板;盲孔孔底分析;杂物失效分析;晶体结构分析
中图分类号：
作者姓名：
霍发燕
作者机构：
上海美维科技有限公司,上海 201613
文献出处：
引用格式：
[1]霍发燕-.FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的应用)[J].电子工艺技术,2022(04):238-240
A类：
盲孔孔底分析,杂物失效分析
B类：
FIB,双束,PCB,IC,缺陷检测,Focused,Ion,Beam,Scanning,Electron,Microscope,聚焦离子束,微加工,电子束,晶体结构分析
AB值：
0.301949
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