典型文献
利用原子层沉积技术实现有机电致发光器件的薄膜封装
文献摘要：
有机电致发光器件(Organic light emitting diode,OLED)具有轻薄、便于携带、自发光、能耗低、亮度更大、柔性显示等特点,可以增加显示产品的附加值,因此被科学和产业界广泛关注.然而,OLED器件中的有机材料对空气中的水汽和氧气十分敏感,若器件在无封装保护的情况下长期在空气中存放,将会严重影响OLED的工作性能和寿命.除了选择合适的传输层材料、表面层结构和利用界面工程提高材料水氧耐受能力之外,对器件进行可靠的封装是隔绝空气中水汽和氧气侵蚀的一种有效手段.原子层沉积(Atomic layer deposition,ALD)是一种已经在实验室验证的有效薄膜沉积封装技术,由于ALD的自限制反应特性,可以在低温下沉积出厚度精确可控且均匀致密的薄膜,利用ALD沉积的薄膜往往拥有良好的机械柔性、超高的阻隔性能和光学透过率.本文将回顾原子层沉积技术的原理,分析ALD制备薄膜的水汽透过率,比较ALD在单层、有机?无机叠层薄膜封装制备上的技术优势.
文献关键词：
薄膜封装;有机电致发光器件;原子层沉积;柔性显示;水汽透过率
中图分类号：
作者姓名：
刘春艳;王源;殷成雨;李泽;王振宇;范思雨;姜文龙;段羽
作者机构：
长春电子科技学院 电子工程学院,吉林 长春 130114;吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012
文献出处：
引用格式：
[1]刘春艳;王源;殷成雨;李泽;王振宇;范思雨;姜文龙;段羽-.利用原子层沉积技术实现有机电致发光器件的薄膜封装)[J].发光学报,2022(08):1281-1299
A类：
封装保护
B类：
原子层沉积,沉积技术,有机电致发光器件,薄膜封装,Organic,light,emitting,diode,OLED,轻薄,自发光,亮度,柔性显示,产业界,有机材料,存放,工作性能,传输层,表面层,面层结构,界面工程,高材,耐受能力,隔绝,气侵,Atomic,layer,deposition,ALD,实验室验证,薄膜沉积,封装技术,反应特性,阻隔性能,水汽透过率,叠层薄膜
AB值：
0.308823
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