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背散射方法测薄膜厚度和杂质分布
文献摘要：
背散射分析是一种定量的、对重元素敏感的离子束分析技术,用于分析固体材料的近表面区域.简述了背散射分析的基本原理、实验装置及具体实验过程,详述了SIMNRA软件在背散射能谱分析中的使用方法.以具体的实验为例,描述了测定薄膜样品的成分及厚度,以及离子注入掺杂样品的杂质浓度及深度分布的测量方法,利用SIMNRA软件对背散射谱进行了模拟分析,模拟结果与实验数据符合较好.实验表明,背散射分析可精确测量薄膜样品的厚度和掺杂样品中的杂质分布.
文献关键词：
背散射分析;SIMNRA;深度分辨率;注入剂量;深度分布
中图分类号：
作者姓名：
徐川;付恩刚;楼建玲
作者机构：
北京大学 物理学院 核物理与核技术国家重点实验室,北京 100871
文献出处：
引用格式：
[1]徐川;付恩刚;楼建玲-.背散射方法测薄膜厚度和杂质分布)[J].物理实验,2022(03):10-16,21
A类：
SIMNRA
B类：
薄膜厚度,杂质分布,背散射分析,重元素,离子束,固体材料,近表面,实验装置,详述,能谱分析,使用方法,离子注入,杂样,杂质浓度,深度分布,精确测量,深度分辨率,注入剂量
AB值：
0.327518
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