典型文献
CCD亚微伏电荷转换因子结构的设计与验证
文献摘要：
设计了大尺寸输出节点和大尺寸放大器栅电容的CCD特殊输出结构,使输出节点总电容约为4.5×10-13F,对设计结构进行了工艺试验.对输出节点电容进行参数校准、结构优化、流片试验、测试验证.试验结果表明,优化设计后的CCD电压转换因子精确地达到了 0.352 μV/e-,满足了航天系统紫外线阵CCD满阱容量需达到1.0×107e-/pixel量级,饱和输出幅度在3.5～4 V范围,CCD的电压转换因子在0.35 μV/e-亚微伏水平(比传统CCD低1～2个数量级)的特殊输出结构要求.
文献关键词：
电荷耦合器件;电荷转换因子;输出节点电容;亚微伏结构
中图分类号：
作者姓名：
王小东;汪朝敏;李佳;涂戈;李金
作者机构：
重庆光电技术研究所,重庆400060
文献出处：
引用格式：
[1]王小东;汪朝敏;李佳;涂戈;李金-.CCD亚微伏电荷转换因子结构的设计与验证)[J].光电子技术,2022(01):28-31
A类：
电荷转换因子,13F,输出节点电容,107e,亚微伏结构
B类：
CCD,因子结构,设计与验证,大尺寸,放大器,设计结构,工艺试验,参数校准,流片,测试验证,紫外线,线阵,满阱容量,pixel,输出幅度,伏水,数量级,结构要求,电荷耦合器件
AB值：
0.299453
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