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钼靶材溅射沉积效果差异原因分析
文献摘要：
采用粉末冶金法制备了不同晶粒度的钼棒并加工出靶材,通过金相技术、显微硬度测试和力学性能测试等方法对产品的微观组织、力学性能进行分析,研究了产品在涂层制备过程中溅射沉积钼效果存在差异的原因.研究结果表明,钼靶材组织的晶粒均匀细小,晶界所占面积率越大,钼靶材溅射沉积效果越好.钼靶材抗拉强度、伸长率、硬度随晶粒尺寸的减小呈上升趋势.
文献关键词：
晶粒度;显微组织;钼靶材;溅射沉积
中图分类号：
作者姓名：
林冰涛;王娜;杨明珲;王承阳;张保红;熊宁
作者机构：
安泰科技股份有限公司,北京100081;航天材料及工艺研究所,北京100076
文献出处：
引用格式：
[1]林冰涛;王娜;杨明珲;王承阳;张保红;熊宁-.钼靶材溅射沉积效果差异原因分析)[J].粉末冶金工业,2022(03):127-130
A类：
B类：
钼靶材,溅射沉积,沉积效果,效果差异,差异原因,粉末冶金法,晶粒度,金相,显微硬度,硬度测试,力学性能测试,微观组织,涂层制备,制备过程,匀细,细小,晶界,抗拉强度,伸长率,晶粒尺寸,显微组织
AB值：
0.287372
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