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Ni5Pt合金再结晶行为的EBSD研究
文献摘要：
NiPt合金溅射靶材是半导体工业重要原材料,其微观结构的表征和调控对于提高靶材与溅射薄膜的质量具有重要意义.采用EBSD分析检测系统对冷轧态Ni5Pt合金在退火过程中的再结晶行为进行了研究.结果 表明,Ni5Pt合金经80％冷轧变形后主要呈{112}＜021＞织构.450℃退火后,最先在＜110＞∥ND形变带以亚晶合并机制形核.550～650℃温度范围内退火后再结晶结构平均晶粒尺寸由1.2 μm增至15 μm,取向分布呈＜110＞∥ND趋势,大角度晶界(HABS)和小角度晶界(LABS)的演变主导了Ni5Pt合金退火过程中结构的变化.550℃退火晶粒的生长机制主要是晶粒转动合并机制.而650℃退火后,晶粒内部大量亚晶及60°{111}退火孪晶的出现分别证明了该温度范围内有晶粒转动和晶界迁移2种生长机制的共同作用.
文献关键词：
镍铂合金;再结晶;晶界;EBSD;晶体取向
中图分类号：
作者姓名：
王一晴;闻明;郭俊梅;肖柱;甘建壮;王传军;谭志龙;管伟明
作者机构：
昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室,云南昆明650106;中南大学材料科学与工程学院,湖南长沙410083
文献出处：
引用格式：
[1]王一晴;闻明;郭俊梅;肖柱;甘建壮;王传军;谭志龙;管伟明-.Ni5Pt合金再结晶行为的EBSD研究)[J].稀有金属材料与工程,2022(01):127-133
A类：
Ni5Pt,NiPt,HABS,LABS,镍铂合金
B类：
再结晶行为,EBSD,溅射靶材,溅射薄膜,分析检测,冷轧变形,后主,织构,最先,ND,亚晶,并机,形核,结晶结构,平均晶粒尺寸,增至,取向分布,大角度晶界,小角度晶界,生长机制,转动,退火孪晶,和晶界,晶界迁移,晶体取向
AB值：
0.280143
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