典型文献
一种L～Ka波段可调MEMS SOLT校准件的设计
文献摘要：
针对矢量网络分析仪(VNA)及其测试连接系统校准的宽频带、低功耗、易操作的需求,设计了一款适用于L～Ka波段的可调微机电系统(MEMS)SOLT校准件.该结构校准件以串联、并联式MEMS开关为基础,首先设计出一款串并联混合式MEMS开关,并将负载电阻与MEMS开关进行集成,结合校准件的SOLT原理,利用该开关对信号的选通功能实现短路、开路、负载和直通4种校准状态.该结构的校准件弥补了传统校准件操作复杂、人为误差较大的不足,具有体积小、精度高、易于操作的特点.利用HFSS仿真软件对器件性能进行优化仿真,在L～Ka波段范围内,器件在直通、开路及短路状态下的损耗分别优于1.89 dB,1.8 dB 及 0.33 dB,阻抗稳定在 50.5 Ω.
文献关键词：
L~Ka波段;微机电系统(MEMS);SOLT校准;TaN电阻
中图分类号：
作者姓名：
张世义;曹钎龙;吴倩楠;李孟委
作者机构：
中北大学 仪器与电子学院,山西 太原030051;中北大学前沿交叉科学研究院,山西 太原030051;中北大学微系统集成研究中心,山西太原030051;中北大学理学院,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]张世义;曹钎龙;吴倩楠;李孟委-.一种L～Ka波段可调MEMS SOLT校准件的设计)[J].中北大学学报（自然科学版）,2022(05):467-473
A类：
B类：
Ka,波段,MEMS,SOLT,矢量网络分析仪,VNA,系统校准,宽频带,低功耗,微机电系统,并联式,串并联,负载电阻,关进,合校,功能实现,短路,开路,直通,校准状态,体积小,HFSS,器件性能,优化仿真,dB,阻抗稳定,TaN
AB值：
0.366853
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