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微结构换能元的低能化设计与性能研究
文献摘要：
为了满足MEMS火工品的低能化发火和高能量利用率要求,基于MEMS技术设计并制备了 8种不同桥区中心角度的"V"型薄膜换能元,对不同换能元样品进行了结构参数表征和性能测试,并完成了 8种换能元安全电流测试和电容放电条件下的发火性能测试.研究表明:在"V"型结构桥区桥膜厚度一定的情况下,通过减小桥区面积、缩短桥区中心宽度以及选择合适的桥区中心角度可实现MEMS火工品的低能化发火;当"V"型桥区中心角度在50°到90°之间时,本研究薄膜换能元最小全发火电压可降低至2.2V/100μF.
文献关键词：
MEMS;薄膜结构;换能元;低能
中图分类号：
作者姓名：
李慧;任炜;骆建军;褚恩义;陈建华;李蛟
作者机构：
杭州电子科技大学电子信息学院,浙江杭州,310018;陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室,陕西西安,710061
文献出处：
引用格式：
[1]李慧;任炜;骆建军;褚恩义;陈建华;李蛟-.微结构换能元的低能化设计与性能研究)[J].火工品,2022(01):20-23
A类：
B类：
设计与性能,MEMS,火工品,发火,高能量,能量利用率,技术设计,桥区,中心角,薄膜换能元,参数表征,安全电流,电流测试,火性,膜厚度,小桥,火电,2V,薄膜结构
AB值：
0.320291
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