典型文献
MEMS平面微起爆器的原位构筑及性能
文献摘要：
设计了一种微机电系统(MEMS)平面微起爆器并对其性能进行了研究.该微起爆器由MEMS微结构换能元和直写起爆装药两部分组成.金属微结构换能元和装药构筑在同一平面上.首先在氮化硅硅片上构造Ni/Cr微结构换能元,然后在微结构换能元的一侧刻蚀微装药腔体,微结构换能元的桥区部分构造在微装药腔体的内部.采用微控直写法,在微装药腔体内部写入一种具有多孔性质的纳米铜墨水前驱体,经过气固原位叠氮化反应后,形成叠氮化铜(Cu(N3)2)MEMS起爆器件.该微起爆器平均电阻为4Ω,作用时间为8.44μs,50％发火电压为14.29 V,发火能量为0.33 mJ,装药量平均值5.18mg,质量相对标准偏差2.6％.该微起爆器能够起爆六硝基六氮杂异伍兹烷(CL?20)炸药.
文献关键词：
微起爆器;微机电系统(MEMS);Cu(N3)2;直写;原位
中图分类号：
作者姓名：
张方;陈建华;王燕兰;张蕾;卢飞朋;韩瑞山;李少群
作者机构：
陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室,陕西 西安 710061
文献出处：
引用格式：
[1]张方;陈建华;王燕兰;张蕾;卢飞朋;韩瑞山;李少群-.MEMS平面微起爆器的原位构筑及性能)[J].含能材料,2022(04):356-362
A类：
微起爆器,微装药,叠氮化铜
B类：
MEMS,微机电系统,换能元,直写,写起,氮化硅,硅硅,硅片,一侧,刻蚀,腔体,桥区,造在,写法,写入,多孔性,纳米铜,墨水,前驱体,过气,固原,N3,作用时间,发火,火电,mJ,装药量,18mg,相对标准偏差,六硝基六氮杂异伍兹烷,CL,炸药
AB值：
0.277231
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