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类金刚石薄膜摩擦学性能影响因素及改善措施的研究进展
文献摘要：
类金刚石(diamond-like carbon,DLC)是一类含有金刚石结构(sp3杂化键)和石墨结构(sp2杂化键)的亚稳态非晶物质,具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性,但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性差、摩擦学行为敏感等问题,大大限制了其产业化应用.从固有因素和外界因素2个方面综述了影响DLC薄膜摩擦学性能的因素,从异质元素掺杂、表面织构化等方面论述了改善DLC薄膜摩擦学性能的措施,展望了DLC薄膜摩擦学性能研究趋势.
文献关键词：
DLC薄膜;摩擦学性能;影响因素;表面织构;元素掺杂
中图分类号：
作者姓名：
周琼;温亚东;张而耕;黄彪;李耀东;梁丹丹;陈强
作者机构：
上海应用技术大学上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418;中国兵器工业集团第二○二研究所,咸阳 712000
文献出处：
引用格式：
[1]周琼;温亚东;张而耕;黄彪;李耀东;梁丹丹;陈强-.类金刚石薄膜摩擦学性能影响因素及改善措施的研究进展)[J].机械工程材料,2022(10):1-7
A类：
B类：
类金刚石薄膜,摩擦学性能,性能影响因素,改善措施,diamond,like,carbon,DLC,金刚石结构,sp3,sp2,亚稳态,非晶,高硬度,耐腐蚀,低摩擦因数,耐磨损,优良特性,制备工艺,内应力,热稳定性,摩擦学行为,产业化应用,外界因素,元素掺杂,表面织构,研究趋势
AB值：
0.351102
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