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TOPCon太阳电池发射极Al2O3/SiNx与SiO2/Al2O3/SiNx叠层膜钝化性能的比较
文献摘要：
本文对TOPCon电池发射结的叠层钝化膜进行了研究,对比了3种不同叠层钝化膜(SiO2/SiNx、Al2O3(1.5 nm)/SiNx、SiO2/Al2O3(1.5 nm)/SiNx)的钝化性能.结果表明:Al2O3(1.5 nm)/SiNx的钝化性能优于SiO2/SiNx,SiO2/Al2O3(1.5 nm)/SiNx的钝化水平最佳,隐开路电压均值可达到705 mV.基于Al2O3/SiNx叠层膜研究了Al2O3厚度(1.5 nm、3 nm和5 nm)对钝化性能和电池转换效率的影响.当Al2O3厚度由1.5 nm增加到3 nm时,钝化性能得到明显提升,隐开路电压均值提高了20 mV,达到707 mV,对应电池的光电转换效率升高了0.23个百分点,与SiO2/Al2O3(1.5 nm)/SiNx叠层膜电池的转换效率持平.然而,当Al2O3厚度继续增加至5 nm时,隐开路电压均值保持不变.因此可以使用Al2O3(3 nm)/SiNx叠层膜代替SiO2/Al2O3(1.5 nm)/SiNx叠层膜,不仅简化了电池的工艺步骤,而且降低了生产成本.
文献关键词：
TOPCon电池;表面钝化;三氧化二铝;Al2O3/SiNx叠层钝化膜;钝化性能;隐开路电压
中图分类号：
作者姓名：
杨露;刘大伟;张婷;魏凯峰;石慧君
作者机构：
青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安 710000
文献出处：
引用格式：
[1]杨露;刘大伟;张婷;魏凯峰;石慧君-.TOPCon太阳电池发射极Al2O3/SiNx与SiO2/Al2O3/SiNx叠层膜钝化性能的比较)[J].人工晶体学报,2022(12):2090-2095
A类：
隐开路电压
B类：
TOPCon,太阳电池,发射极,Al2O3,SiNx,SiO2,叠层膜,钝化性能,发射结,钝化膜,mV,光电转换效率,百分点,持平,表面钝化,三氧化二铝
AB值：
0.145353
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