典型文献
压电微机械超声换能器仿真与结构优化
文献摘要：
压电微机械超声换能器(PMUT)在医疗阵列成像、手势识别、内窥成像、指纹识别等领域有着重要的应用,而灵敏度等性能是影响其成像质量的主要因素.该文对基于PMN-PT圆形压电复合振动膜的压电微机械超声换能器等效电路模型进行分析,并通过有限元法研究了压电层PMN-PT厚度对PMUT的发射电压响应、接收灵敏度的影响.仿真结果表明,当压电层厚度为4.5μm(厚度为基底厚度的90％)时,换能器的发射电压响应级最大,达到191.6 dB,接收灵敏度级随厚度的增加基本呈线性上升趋势;当压电层厚度为5.1μm(厚度为基底厚度的102％)时,回路增益(损耗)最大,达到-64.50 dB.
文献关键词：
PMN-PT薄膜;PMUT;回路增益(损耗);接收灵敏度;发射电压响应
中图分类号：
作者姓名：
余卿;遆金铭;樊青青;李俊红
作者机构：
中国科学院声学研究所 声场声信息国家重点实验室,北京 100190;中国科学院大学,北京 100049
文献出处：
引用格式：
[1]余卿;遆金铭;樊青青;李俊红-.压电微机械超声换能器仿真与结构优化)[J].压电与声光,2022(03):403-406
A类：
PMUT
B类：
压电,微机械,超声换能器,阵列成像,手势识别,内窥成像,指纹识别,成像质量,PMN,PT,电复,复合振动,等效电路模型,有限元法,发射电压响应,接收灵敏度,基底厚度,dB,回路
AB值：
0.248938
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