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电子轰击有源像素传感器光谱响应测试系统设计
文献摘要：
电子轰击有源像素传感器(EBAPS)是一种利用真空技术将光阴极、电子敏感有源像素传感器(APS)芯片和基座封装成的真空-固体混合型微光器件.积分灵敏度是EBAPS重要的性能参数之一,但国内目前还缺乏相应的测试手段.因此,基于EBAPS的工作原理和微光像增强器的光谱响应测试方法,用数字-电子转换因子和输出信号得到的电子数对光谱响应度进行表征,并设计了 EBAPS的光谱响应测试系统.利用该系统获得了 EBAPS器件在-800 V工作电压下的光谱响应曲线,器件的积分灵敏度为3.2×108(s·lm)-1,重复度为0.65％.
文献关键词：
探测器;电子轰击;有源像素传感器;光谱响应;测试系统;电子数
中图分类号：
作者姓名：
严毅赟;钱芸生;张景智;韩坤;郑舟;柳磊
作者机构：
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094;微光夜视技术重点实验室,陕西西安710065
文献出处：
引用格式：
[1]严毅赟;钱芸生;张景智;韩坤;郑舟;柳磊-.电子轰击有源像素传感器光谱响应测试系统设计)[J].激光与光电子学进展,2022(13):113-118
A类：
电子轰击有源像素传感器,EBAPS
B类：
测试系统设计,真空技术,光阴极,基座,封装,装成,混合型,光器件,性能参数,试手,微光像增强器,转换因子,输出信号,电子数,光谱响应度,工作电压,响应曲线,lm,探测器
AB值：
0.202327
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