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超光电子铜箔的微尺度激光冲击平坦化
文献摘要：
根据激光冲击的原理对超光电子铜箔进行了微尺度激光冲击平坦化(MLSF)处理.首先,通过MLSF实验研究脉冲能量和冲击次数等工艺参数对电子铜箔平坦化效果(表面粗糙度Sa)的影响规律;然后,根据电子铜箔平坦化效果与工艺参数的对应规律,阐明电子铜箔的MLSF原理;最后,采用透射电子显微镜对MLSF处理前后的电子铜箔进行显微表征,揭示电子铜箔MLSF的表面变形机理.研究结果表明:当激光脉冲能量为100 μJ、冲击次数为3次时,电子铜箔的表面粗糙度(Sa)从22.7 nm降低到5.0 nm,降低了 78％;冲击波经吸收层和样品层后被放大,使得样品层(铜箔)与底板(玻璃)的表面形貌接近;金属箔内部的小塑性变形和下表面附近的大塑性变形是MLSF的表面变形机制.
文献关键词：
激光技术;激光冲击;微尺度;电子铜箔;表面粗糙度;表面变形机理
中图分类号：
作者姓名：
赵恩兰;王情情;杨海峰;彭玉兴
作者机构：
中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州221116;江苏省矿山智能采掘装备协同创新中心,江苏徐州221116
文献出处：
引用格式：
[1]赵恩兰;王情情;杨海峰;彭玉兴-.超光电子铜箔的微尺度激光冲击平坦化)[J].中国激光,2022(16):10-19
A类：
MLSF,表面变形机理
B类：
光电子,电子铜箔,微尺度,激光冲击,平坦化,脉冲能量,冲击次数,表面粗糙度,Sa,透射电子显微镜,激光脉冲,冲击波,底板,表面形貌,金属箔,下表面,大塑性变形,变形机制,激光技术
AB值：
0.17736
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