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棒阳极X射线源聚焦系统的电子光学设计
文献摘要:
棒阳极X射线源能够深入到被检物内部进行无损检测,是具有小孔腔特征的金属管壁零部件的可靠性检测的首选方法.具有良好电子光学设计的聚焦系统是棒阳极X射线源获得高分辨率检测的关键之一.首先,从电子光学理论出发,结合棒阳极X射线源的结构特点建立了聚焦系统模型.然后,优化了聚焦系统模型的电子光学参数.最后,搭建了样机,并进行了分辨率测试实验.仿真与实验结果均表明,在50~130 kV加速电压下,样机的分辨率优于50μm.
文献关键词:
X射线光学;棒阳极;长工作距离;电子光学
中图分类号:
作者姓名:
史丽娜;刘俊标;牛耕;董增雅;邓晨晖;韩立
作者机构:
中国科学院电工研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049
文献出处:
引用格式:
[1]史丽娜;刘俊标;牛耕;董增雅;邓晨晖;韩立-.棒阳极X射线源聚焦系统的电子光学设计)[J].光学学报,2022(22):216-221
A类:
棒阳极,长工作距离
B类:
线源,聚焦系统,电子光学,光学设计,无损检测,小孔,金属管,管壁,零部件,可靠性检测,分辨率检测,系统模型,光学参数,样机,测试实验,kV,加速电压
AB值:
0.259434
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