典型文献
基于正交双行波磁场的平面二维时栅位移传感器
文献摘要：
针对半导体行业、航空航天等领域对于精密二维位移测量的迫切需求,提出了一种基于正交双行波磁场的平面二维时栅位移传感器.传感器由定尺和动尺组成,定尺由导磁基体和沿x、y方向排列的两励磁线圈组成,动尺由导磁基体和沿x、y方向排列的两层感应线圈组成.当励磁线圈通入正余弦励磁信号时,在定尺上方产生分别沿x和y方向运动的正交双行波磁场.通过对感应线圈输出的感应电信号进行解算得到x和y方向的位移值.首先介绍了传感器的结构和工作原理,对传感器模型进行了电磁场仿真;然后对仿真误差进行溯源分析,并优化传感器结构;最后采用印刷电路板技术制作了传感器样机,并设计相应的电气系统进行实验验证.实验结果表明该传感器在160 mm×160 mm测量范围内能够实现平面二维位移测量,x方向节距内位移误差峰峰值为32.8 μm,y方向节距内位移误差峰峰值为34.5 μm.
文献关键词：
时栅;平面二维位移测量;正交双行波磁场
中图分类号：
作者姓名：
武亮;阿岩琛;吴玉龙;苏瑞;鲁进
作者机构：
重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 重庆 400054;重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室 重庆 400054
文献出处：
引用格式：
[1]武亮;阿岩琛;吴玉龙;苏瑞;鲁进-.基于正交双行波磁场的平面二维时栅位移传感器)[J].仪器仪表学报,2022(12):58-65
A类：
正交双行波磁场,二维时栅位移传感器,平面二维位移测量
B类：
半导体行业,航空航天,定尺,导磁,励磁线圈,线圈组,两层,感应线圈,正余弦,磁信号,感应电,电信号,电磁场仿真,仿真误差,溯源分析,传感器结构,用印,印刷电路板,电路板技术,技术制作,样机,电气系统,测量范围,内能,节距,位移误差,峰峰
AB值：
0.225448
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