典型文献
基于台阶刻蚀工艺的GaInP/GaAs/Ge太阳电池激光划片研究
文献摘要:
通过湿法台阶刻蚀工艺,在GaInP/GaAs/Ge太阳电池晶圆上按设计尺寸做成切割槽,继而采用皮秒或纳秒激光划切晶圆衬底,完成尺寸误差低于10μm的电池切割,该工艺制备的太阳电池性能与金刚石砂轮划片效果等同.和金刚石砂轮划片工艺相比,激光划片具有速度快、切割图形多样、维护周期短等优点.
文献关键词:
台阶刻蚀;激光划片;热效应
中图分类号:
作者姓名:
许军;铁剑锐;孙希鹏;康洪波
作者机构:
天津恒电空间电源有限公司,天津300384;河北建筑工程学院信息工程学院,河北张家口075000
文献出处:
引用格式:
[1]许军;铁剑锐;孙希鹏;康洪波-.基于台阶刻蚀工艺的GaInP/GaAs/Ge太阳电池激光划片研究)[J].电源技术,2022(05):549-551
A类:
台阶刻蚀,激光划片
B类:
刻蚀工艺,GaInP,GaAs,Ge,太阳电池,湿法,晶圆,做成,切割槽,皮秒,纳秒激光,衬底,尺寸误差,工艺制备,电池性能,金刚石砂轮,等同,周期短,热效应
AB值:
0.269106
相似文献
机标中图分类号,由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成,仅供学习研究参考。