典型文献
线性偏摆复合型压电微动平台
文献摘要：
为了研究微/纳米技术在光学、精密加工和精确定位等领域的应用,提出了一种线性偏摆复合型压电微动平台,以实现线性运动和偏摆运动.对平台的组成和工作原理进行阐述,建立两种运动的数学模型,并进行运动性能仿真.根据拟定的尺寸加工出样机,对样机的运动能力和频响特性进行测试.最后,通过比例积分微分(Proportional Integral Deriv?ative,PID)反馈实现对平台的跟踪控制.仿真和实验结果表明:该平台具有良好的运动精度和解耦性,一阶固有频率可以达到333.8 Hz,能够实现24.924μm的线性运动和1.330 mrad的角度摆动,实现了微/纳米级别的运动,在精密光学、精确定位等领域具有广阔的应用前景.
文献关键词：
微动平台;线性运动;偏摆运动;柔性机构;数学模型
中图分类号：
作者姓名：
王耿;魏维宁;代军;闫勇刚
作者机构：
河南理工大学机械与动力工程学院,河南焦作454000
文献出处：
引用格式：
[1]王耿;魏维宁;代军;闫勇刚-.线性偏摆复合型压电微动平台)[J].光学精密工程,2022(09):1058-1070
A类：
偏摆运动,Deriv
B类：
压电,微动平台,纳米技术,精密加工,精确定位,线性运动,行运,运动性能,性能仿真,拟定,样机,运动能力,频响特性,比例积分微分,Proportional,Integral,ative,PID,跟踪控制,运动精度,解耦,一阶固有频率,mrad,摆动,纳米级,柔性机构
AB值：
0.381231
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