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基于发射光谱的大气压脉冲调制氩表面波等离子体的特性
文献摘要：
以微波表面波形式激励的大气压放电等离子体能够在远离发生器的区域产生高密度等离子体且无需波导约束电磁波传输,从而提高了实际应用中微波耦合等离子体的处理效率和可操作性.本文介绍了表面波等离子体源的装置结构及其放电机制.基于等离子体发射光谱,利用Hα谱线的斯塔克展宽法和谱线-连续谱比值法分别诊断了等离子体中电子密度和温度,研究了脉冲调制等离子体在放电过程中电子密度和温度随瞬时功率、调制频率和轴向位置的变化规律,以及氩原子谱线强度的时间演化,并讨论了对电子密度和温度的影响机制以及等离子体余辉过程中激发态氩原子的产生机制.结果表明,等离子体电子密度可达～1015 cm-3且与局域微波耦合能量密度呈正相关,而电子温度受外部条件的影响相对较小,激发态氩原子主要由类似沙哈平衡过程控制.
文献关键词：
大气压等离子体;表面波;发射光谱;放电参数;脉冲调制
中图分类号：
作者姓名：
陈传杰;刘博通;方忠庆;王媛媛;李娜;周锋;王如刚
作者机构：
盐城工学院信息工程学院,江苏 盐城 224051;江苏省新型环保重点实验室,江苏 盐城 224051
文献出处：
引用格式：
[1]陈传杰;刘博通;方忠庆;王媛媛;李娜;周锋;王如刚-.基于发射光谱的大气压脉冲调制氩表面波等离子体的特性)[J].南昌大学学报（理科版）,2022(01):24-31
A类：
B类：
脉冲调制,表面波,大气压放电,放电等离子体,发生器,波导,电磁波,处理效率,等离子体源,等离子体发射光谱,斯塔克,展宽,连续谱,谱比,比值法,电子密度,放电过程,瞬时功率,轴向位置,原子谱线,谱线强度,时间演化,余辉,激发态,产生机制,局域,能量密度,电子温度,过程控制,大气压等离子体,放电参数
AB值：
0.33505
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