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太赫兹光谱诊断等离子体电子密度实验及模拟
文献摘要：
近年来,太赫兹时域光谱技术(THz-TDS)被用于多种等离子体源的电子密度诊断研究中,但其可靠性程度评估工作开展较少,亟需补齐相应研究.本文将THz-TDS用于诊断电感耦合等离子体源(ICP)的电子密度,ICP驱动频率为13.56 MHz,功率为250～400 W,工作介质为氩气,气压为30～99 Pa.诊断结果显示电子密度随输入功率和气压单调递增,电子密度范围为1013～1014 cm-3.同时,利用COMSOL Multiphysics构建漂移扩散模型对该条件下等离子体电子密度进行数值计算研究.结果显示:实验测量与数值计算的电子密度值定量吻合较好,且两者随气压变化趋势一致.证实了THz-TDS应用到等离子体诊断领域中具有可靠性高、稳定性好等优异特性,具有非常广阔的发展潜力.
文献关键词：
太赫兹时域光谱技术;等离子体诊断;电子密度;数值计算
中图分类号：
作者姓名：
赵亚锐;崔紫宵;吴鼎;冯春雷;丁洪斌
作者机构：
大连理工大学 三束材料改性教育部重点实验室,辽宁 大连 116024
文献出处：
引用格式：
[1]赵亚锐;崔紫宵;吴鼎;冯春雷;丁洪斌-.太赫兹光谱诊断等离子体电子密度实验及模拟)[J].太赫兹科学与电子信息学报,2022(08):804-809
A类：
B类：
太赫兹光谱,光谱诊断,电子密度,太赫兹时域光谱技术,THz,TDS,等离子体源,诊断研究,评估工作,补齐,断电,电感耦合等离子体,ICP,MHz,工作介质,氩气,Pa,诊断结果,输入功率,COMSOL,Multiphysics,漂移扩散模型,该条,实验测量,等离子体诊断,可靠性高,非常广阔
AB值：
0.28087
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