典型文献
射频激励扩散冷却板条CO2激光器技术发展
文献摘要：
扩散冷却、射频激励的板条结构CO2激光器具有效率高、体积小和光束质量好的优势,在激光精密退火、工业加工等应用领域越来越被重视.高功率射频激励、扩散冷却板条CO2激光器在千瓦级及以上的CO2激光精密加工及微电子装备中占有重要地位,已成为高功率、高光束质量连续CO2激光器的主流发展方向.就CO2激光器技术发展,重点围绕射频驱动板条结构高功率CO2激光器技术的国内外研究动态进行了调研,梳理了技术发展阶段及应用情况,并对技术发展趋势进行了展望.
文献关键词：
板条CO2激光器;射频激励;扩散冷却;高功率
中图分类号：
作者姓名：
罗琪卉;汪于涛;王丽;朱小磊
作者机构：
中国科学院上海光学精密机械研究所,空间激光传输与探测技术重点实验室,上海201800;中国科学院大学,材料与光电研究中心,北京100049;上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室,上海200233
文献出处：
引用格式：
[1]罗琪卉;汪于涛;王丽;朱小磊-.射频激励扩散冷却板条CO2激光器技术发展)[J].应用激光,2022(01):108-116
A类：
扩散冷却
B类：
射频激励,激光器,板条结构,体积小,退火,高功率,千瓦,激光精密加工,微电子装备,高光束质量,绕射,研究动态,技术发展阶段,技术发展趋势
AB值：
0.214387
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