典型文献
可集成制造的平面型电磁直线作动器研究
文献摘要：
电磁作动器具有输出力大、行程长、无接触等优势,在通信、自动测试、电力电子等领域有着广泛的应用,但受限于体积大、制造工艺复杂,难以满足相关领域电子系统向微型化、集成化的发展需求.针对上述问题,应用平面型集成线圈及高深宽比微结构设计,制造了一种微型化电磁作动器的原型样机,初步测试结果表明,器件的输出力可达毫牛量级,输出位移大于50 μm,响应时间小于10 ms,为进一步开展相关器件研究探明了可行的技术路径.
文献关键词：
微电磁驱动器;微线圈;集成制造
中图分类号：
作者姓名：
武强;管伟昌;戴旭涵;王怀治;高宇帆;丁桂甫
作者机构：
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室;上海交通大学先进电子材料与器件平台
文献出处：
引用格式：
[1]武强;管伟昌;戴旭涵;王怀治;高宇帆;丁桂甫-.可集成制造的平面型电磁直线作动器研究)[J].半导体光电,2022(06):1092-1098
A类：
集成线圈,微电磁驱动器,微线圈
B类：
集成制造,面型,直线作动器,电磁作动器,输出力,行程长,无接触,自动测试,电力电子,受限于,制造工艺,电子系统,微型化,集成化,高深宽比,微结构设计,样机,步测,输出位移,响应时间,ms,相关器,技术路径
AB值：
0.348921
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