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表面形貌对PVD法制备涂层结合性能的影响
文献摘要：
为了研究基体表面形貌对PVD方法制备的涂层与基体结合性能的影响,观察了喷砂处理后基体表面的显微形貌,测试了涂层与基体的结合力,测量了沉积完成后涂层的物相及硬度,并对不同基体表面形貌对涂层结合性能的影响机理作了分析研究.结果表明:水喷砂和干喷砂处理后,基体表面均形成"V"型凹槽形貌,分别表示为θ1型和θ2型(θ1<θ2,θ为凹槽开口宽度与槽深之比);不同表面形貌对涂层与基体的结合性能影响较大,但不会改变涂层的物相结构,不影响涂层的致密度和本征应力;根据形核机理,θ1型时,在"V"型槽上部边缘处形核生长的原子阻碍其他原子大量进入,导致"V"型槽底部中空;而θ2型时,大量原子进入槽中,伴随着原子的扩散运动,形成了几乎完全填满的"V"型槽结构,从而增大了涂层与基体的结合面积,提升了涂层与基体的结合性能.
文献关键词：
涂层;表面形貌;PVD;结合力;"V"型槽
中图分类号：
作者姓名：
常振东;邓仲华;孙荣臻;牟仁德;胡江玮
作者机构：
中国航发北京航空材料研究院,北京 100095;京东方科技集团股份有限公司,北京 100016
文献出处：
引用格式：
[1]常振东;邓仲华;孙荣臻;牟仁德;胡江玮-.表面形貌对PVD法制备涂层结合性能的影响)[J].真空,2022(03):52-56
A类：
B类：
表面形貌,PVD,结合性能,喷砂,砂处理,显微形貌,结合力,不同基体,凹槽,槽形,之比,物相结构,致密度,型槽,形核生长,中空,入槽,填满,结合面
AB值：
0.256739
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