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双线阵相机的线扫描差动共聚焦检测方法
文献摘要：
针对目前微观三维表面形貌测量技术中存在检测效率和测量范围较小的问题,提出一种基于双线阵相机的线扫描差动共聚焦三维形貌测量方法.采用线扫描光源,利用线扫描拼接算法,分别合成焦前和焦后图像;再利用差动算法获得样本位于测量区域的差动图像,结合预先刻度的轴向响应曲线,完成样本的三维形貌还原,实现大范围高效测量.实验结果证明:基于双线阵相机的线扫描差动共聚焦三维形貌测量方法在相同时间内测量范围和测量效率分别是白光干涉仪的16.48倍和6.59倍,并且该方法在测量过程中不需要停顿,只需实现一次对焦,就可以对样品进行连续不间断的扫描检测.研究成果为满足智能制造中在线在位、实时高效、大范围测量的检测需求提供依据.
文献关键词：
轴向测量;差动共聚焦显微测量;线扫描技术;双线阵相机
中图分类号：
作者姓名：
赖东明;孔令华;练国富;易定容;朱星星
作者机构：
福建工程学院 机械与汽车工程学院,福建 福州 350108;华侨大学 机电与自动化学院,福建 厦门 361021
文献出处：
引用格式：
[1]赖东明;孔令华;练国富;易定容;朱星星-.双线阵相机的线扫描差动共聚焦检测方法)[J].应用光学,2022(02):298-303
A类：
双线阵相机,差动共聚焦显微测量
B类：
表面形貌,测量技术,检测效率,测量范围,三维形貌测量,光源,拼接算法,成焦,后图,动图,刻度,响应曲线,内测,测量效率,白光干涉仪,停顿,对焦,不间断,在位,轴向测量,线扫描技术
AB值：
0.2215
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