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激光旋转切割石英管设备研制及其工艺研究
文献摘要：
为了实现将密封石英管内器件取出的目的,设计研制了一套激光旋转切割设备.由于石英管内密封晶圆类易碎器件,为了不产生振动将石英管内器件取出,利用激光非接触切割原理,以石英管为中心设计光学旋转切割系统,实现360°旋转切割石英管,并分析试验数据,通过优化的试验数据,最终实现高效、无损伤的石英管切割技术.
文献关键词：
激光切割;石英管;光学旋转切割系统
中图分类号：
作者姓名：
金越越;梁进智;罗光华;封芸;马利;王雪梅
作者机构：
北京华北莱茵光电技术有限公司,北京 100015
文献出处：
引用格式：
[1]金越越;梁进智;罗光华;封芸;马利;王雪梅-.激光旋转切割石英管设备研制及其工艺研究)[J].激光与红外,2022(04):503-507
A类：
光学旋转切割系统
B类：
石英管,设备研制,切割设备,内密封,晶圆,易碎,非接触,无损伤,激光切割
AB值：
0.216824
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