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三维集成技术在红外探测器中的应用
文献摘要：
红外探测器被广泛应用于红外侦查、预警、制导、遥感等领域.近些年来,随着应用需求的不断牵引,红外探测器在保持高空间分辨率、高温度灵敏度的同时,还需兼顾向小型化、集成化的发展.传统的单片式信号处理电路在极限性能、功能集成度方面已难以满足未来红外系统的发展需求,基于三维集成技术的红外探测器逐步成为解决方案之一,本文对微电子器件三维集成技术进行了简要介绍,列举了国外相关研究机构利用三维集成技术研制红外探测器的进展,探讨了三维集成技术在红外探测器研制中面临的挑战.
文献关键词：
三维集成;红外探测器;应用;挑战及发展趋势
中图分类号：
作者姓名：
谭振;聂媛;于艳;田震;喻松林
作者机构：
华北光电技术研究所,北京 100015
文献出处：
引用格式：
[1]谭振;聂媛;于艳;田震;喻松林-.三维集成技术在红外探测器中的应用)[J].激光与红外,2022(02):163-169
A类：
B类：
三维集成,集成技术,红外探测器,侦查,制导,应用需求,高空间分辨率,温度灵敏度,小型化,集成化,单片,片式,信号处理电路,功能集成,集成度,红外系统,微电子器件,挑战及发展趋势
AB值：
0.234911
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