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eFuse熔丝电阻值的测量方法
文献摘要：
作为电编程熔丝(eFuse)中的存储介质,熔丝的电阻值用来表征所存储的数据.2种采用5端口法设计的测试单元被用来测量eFuse单元中熔丝的电阻值以及编程控制管的特性参数,并应用于后续通过测试芯片测量eFuse中熔丝电阻的方案中,以间接测量eFuse编程通路的电阻值并消除漏电电流影响的方式准确推算出熔丝的电阻值.最后,提出了 1种在常规eFuse中增加辅助电路来测量熔丝电阻的设计方案及测量方法.
文献关键词：
电编程熔丝;熔丝;电阻值测量
中图分类号：
作者姓名：
晏颖;张睿
作者机构：
上海华力集成电路制造有限公司,上海 201316;浙江大学微纳电子学院,杭州 310014
文献出处：
引用格式：
[1]晏颖;张睿-.eFuse熔丝电阻值的测量方法)[J].电子与封装,2022(10):18-25
A类：
eFuse,电编程熔丝
B类：
存储介质,端口,测试单元,制管,特性参数,间接测量,漏电电流,推算出,辅助电路,电阻值测量
AB值：
0.182749
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