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微型PZT厚膜超声电机定子的制备及分析
文献摘要：
基于电流体喷印工艺制备了微型PZT厚膜超声电机定子.搭建了电流体喷印实验平台,利用电流体喷印工艺,以锆钛酸铅(PZT)复合悬浮液为喷印材料,在钛合金弹性体上沉积了厚度为50μm的环形PZT厚膜并在700℃下进行高温退火结晶,利用磁控溅射技术在PZT厚膜上制备了厚度为50/200 nm的Ti/Pt分区上电极并进行极化,获得了外径为4.3 mm、厚度为0.6 mm的微型PZT厚膜超声电机定子.测试和分析了PZT厚膜和定子的性能,采用扫描电镜观察了PZT厚膜的截面和表面微观形貌,采用拉伸法分析了PZT厚膜与弹性体的结合力,采用激光多普勒测振仪对定子进行振动性能测试.实验结果表明,定子工作模态的谐振频率为82.3 kHz,在10 V激励电压下,表面测试点振幅为212 nm,并且振幅与激励电压幅值呈线性正相关,定子具有良好的振幅响应控制性.
文献关键词：
超声电机定子;PZT厚膜;电流体喷印
中图分类号：
作者姓名：
宗浩然;王大志;赵奎鹏;袁钰恒;梁世文;杨勇
作者机构：
大连理工大学机械工程学院,辽宁大连 116024;大连理工大学宁波研究院,浙江宁波 315016;宁波永新光学股份有限公司,浙江宁波 315048
文献出处：
引用格式：
[1]宗浩然;王大志;赵奎鹏;袁钰恒;梁世文;杨勇-.微型PZT厚膜超声电机定子的制备及分析)[J].机电工程技术,2022(12):14-17
A类：
电流体喷印
B类：
PZT,厚膜,超声电机定子,工艺制备,实验平台,锆钛酸铅,悬浮液,钛合金,金弹,弹性体,高温退火,磁控溅射技术,Ti,Pt,外径,电镜观察,表面微观形貌,拉伸法,结合力,激光多普勒测振仪,振动性能,工作模态,谐振频率,kHz,激励电压,表面测试,测试点,电压幅值,振幅响应,控制性
AB值：
0.2508
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