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改造蒸发台行星盘系统提升工艺可靠性
文献摘要：
目标设备蒸发台无法对行星盘实际转速做实时监控,工艺过程中晶圆产品转速处于失控状态,有很大的生产可靠性风险.针对这一问题对行星盘的转速监测系统做优化改造,实现了行星盘实际转速在设备电脑端的实时测量和实时控制.在行星盘转速出现异常时,设备能够立即停止工艺,等待人员处理,有效保证了晶圆产品的生产安全.同时,通过改造对载片行星盘转速直接测量控制,保证了工艺参数的精准度.
文献关键词：
蒸发台;行星盘系统;设备改造
中图分类号：
作者姓名：
解晗;申强;葛荣祥
作者机构：
中国电子科技集团公司第五十五研究所,南京 210016
文献出处：
引用格式：
[1]解晗;申强;葛荣祥-.改造蒸发台行星盘系统提升工艺可靠性)[J].电子工业专用设备,2022(02):42-44,51
A类：
行星盘系统
B类：
蒸发台,系统提升,工艺可靠性,实时监控,工艺过程,晶圆,失控,优化改造,备电,实时测量,实时控制,出现异常,常时,待人,生产安全,直接测量,测量控制,设备改造
AB值：
0.29488
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