典型文献
电子级三氯化硼充装系统中新型尾气处理装置
文献摘要：
针对电子级三氯化硼充装时面临的轻组分含量偏高及尾气处理时产生的盐酸浓度低、无法回收等问题,对电子级三氯化硼充装系统中的尾气处理装置进行了优化.优化后的新型尾气处理装置不仅使充装系统管道内的气体置换更加彻底、提升了电子级三氯化硼品质,还实现副产盐酸和硼酸的分离与回收,使盐酸浓度从12％提升至31％,达到工业盐酸的标准.
文献关键词：
电子级三氯化硼;充装系统;尾气处理装置;盐酸回收
中图分类号：
作者姓名：
罗利生;魏武;高梦涵
作者机构：
福建久策气体股份有限公司,福建福州350109
文献出处：
引用格式：
[1]罗利生;魏武;高梦涵-.电子级三氯化硼充装系统中新型尾气处理装置)[J].低温与特气,2022(06):16-18
A类：
电子级三氯化硼,三氯化硼,盐酸回收
B类：
充装系统,尾气处理装置,轻组分,组分含量,盐酸浓度,统管,气体置换,副产盐酸,硼酸,工业盐酸
AB值：
0.140803
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