典型文献
含氟聚合物在半导体行业中的应用
文献摘要：
介绍了含氟聚合物的基本分类和特性,叙述了含氟聚合物聚四氟乙烯、可熔性聚四氟乙烯、乙烯-四氟乙烯共聚物和全氟醚橡胶在半导体行业制造过程中的应用,展望了国内半导体行业发展及配套含氟聚合物产品的市场前景,目前国内半导体原材料自给率严重不足,特别是卡脖子高技术产品,如超净高纯试剂、高纯度氟聚合物、大硅片、电子特气、抛光液、光掩模板和光刻胶等为代表的关键材料均被国际大公司垄断.半导体产业链配套的上游氟聚合物行业国产替代空间巨大,市场前景可观.
文献关键词：
含氟聚合物;半导体;氟树脂;应用
中图分类号：
作者姓名：
孟庆文;余国军;黄军;路迪;程宇
作者机构：
浙江巨化股份有限公司氟聚合物事业部,浙江 衢州 324000
文献出处：
引用格式：
[1]孟庆文;余国军;黄军;路迪;程宇-.含氟聚合物在半导体行业中的应用)[J].化工生产与技术,2022(04):17-19,29
A类：
B类：
含氟聚合物,半导体行业,基本分类,聚四氟乙烯,乙烯共聚物,全氟醚橡胶,制造过程,市场前景,自给率,严重不足,卡脖子,高技术产品,超净,净高,高纯试剂,高纯度,硅片,电子特气,抛光液,掩模板,光刻胶,关键材料,大公司,半导体产业链,国产替代,氟树脂
AB值：
0.337098
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