典型文献
基于倾斜入射的直角棱镜大面测量装置研究
文献摘要：
针对直角棱镜大面测量中可以消除多重干涉背景干扰的倾斜入射测量系统,设计了一种能直接进行直角棱镜大面测量的正置式倾斜入射干涉仪装置.该装置包括相移干涉仪主机、一体化载物工作台以及一对参考平晶.讨论了直角面参与反射带来的光线簇造成的多重干涉背景误差,采用3D偏折的方法来避免全内反射光干扰直角棱镜大面测量.实验部分,组装了基于倾斜入射的正置式相移干涉仪,并完成光路调校与参数标定,实现了直角棱镜大面面形的测量;使用白光轮廓仪对被测棱镜大面进行比对测量,结果一致.解决了直角棱镜条的测量问题,实现了微棱镜工业化在线测量,在直角棱镜加工中具有重要的应用价值.
文献关键词：
直角棱镜;空间光线簇;倾斜测量;多重干涉
中图分类号：
作者姓名：
朱贵博;王青;陈巍
作者机构：
南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094
文献出处：
引用格式：
[1]朱贵博;王青;陈巍-.基于倾斜入射的直角棱镜大面测量装置研究)[J].光学仪器,2022(02):65-71
A类：
多重干涉,空间光线簇
B类：
倾斜入射,直角棱镜,测量装置,装置研究,背景干扰,测量系统,接进,射干,干涉仪,相移干涉,主机,载物,工作台,背景误差,偏折,反射光,光路,调校,参数标定,白光,光轮,轮廓仪,测量问题,在线测量,倾斜测量
AB值：
0.262121
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