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一种三端口椭圆能量聚焦型大功率微波等离子体炬
文献摘要：
针对传统微波等离子体装置存在着功率小、处理效率低、激发场强不够高、在一定程度上制约了微波等离子体的工业应用的问题,本文提出了一种三端口椭圆聚焦型大功率微波等离子体炬装置的设计方法,根据椭圆的光学结构,并基于有限元分析法电磁仿真优化了椭圆腔体.仿真与实验结果表明该装置能量聚焦区域的电场能量通过外激发能激发出等离子体,可用于处理固体废弃物,其对于以后的大功率多端口微波等离子体装置的设计也有一定的指导意义.
文献关键词：
微波等离子体;大功率;多端口;多物理场
中图分类号：
作者姓名：
谢政廷;朱盛颖;朱铧丞;杨阳;黄卡玛
作者机构：
四川大学电子信息学院,四川成都 610065
文献出处：
引用格式：
[1]谢政廷;朱盛颖;朱铧丞;杨阳;黄卡玛-.一种三端口椭圆能量聚焦型大功率微波等离子体炬)[J].真空电子技术,2022(02):86-91
A类：
B类：
三端口,能量聚焦,大功率微波,微波等离子体,等离子体炬,处理效率,场强,工业应用,有限元分析法,电磁仿真,仿真优化,腔体,固体废弃物,多端口,多物理场
AB值：
0.227448
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