典型文献
一种基于人工免疫的芯片划痕检测系统
文献摘要：
新冠肺炎疫情发生后,远程医疗、 居家办公和虚拟学习等非传统产业对集成电路芯片的需求大幅上升,导致全球范围内芯片短缺.快速准确检测芯片在制造封装过程中表面产生的缺陷、提高芯片的生产效率意义十分重大.利用图像处理方法设计了一种芯片表面划痕检测系统,主要由芯片图像采集模块、图像预处理模块、图像分割及划痕检测等模块构成,将人工免疫的方法引入到目标图像分割中,提高了分割阈值准确率,获得图像熵值最大,视觉效果最佳.在划痕检测阶段的特征提取时确定了圆形度、长宽比和紧凑性等几何特征作为主要特征,用决策树来分类和识别划痕.对大小为200 pixel×200 pixel的QFN划痕识别准确率可达96.14％,平均检测时长2.167 s.实验证明,系统能实现芯片表面划痕缺陷检测识别,为构建高精度的芯片表面缺陷检测提供技术参考.
文献关键词：
人工免疫;芯片;图像分割;划痕检测
中图分类号：
作者姓名：
周小军;谭薇
作者机构：
甘肃工业职业技术学院电信学院,甘肃天水 741025;四川大学网络空间安全学院,四川成都 610065
文献出处：
引用格式：
[1]周小军;谭薇-.一种基于人工免疫的芯片划痕检测系统)[J].无线电工程,2022(09):1625-1632
A类：
B类：
人工免疫,划痕检测,远程医疗,居家办公,虚拟学习,非传统,传统产业,集成电路,快速准确,封装,装过,率意,方法设计,表面划痕,芯片图像,图像采集,图像预处理,图像分割,标图,分割阈值,图像熵,视觉效果,圆形度,长宽比,紧凑性,几何特征,决策树,pixel,QFN,识别准确率,检测识别,芯片表面缺陷,表面缺陷检测
AB值：
0.408793
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