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氧化型垂直腔面发射激光器的常见失效模式和机理分析
文献摘要：
氧化型垂直腔面发射激光器(VCSEL)在高速光通信中有着广泛的应用,应用过程中的可靠性是一个非常重要的指标,要求有高寿命和低失效率.为了更好地了解VCSEL在应用过程中的失效模式和机理,提升器件的可靠性,本文从器件设计、加工制造和应用过程等3个环节总结分析了氧化型VCSEL的常见失效模式、产生原因和机理,并提出了适当的改善措施和建议.其中,对氧化应力、静电放电和湿气腐蚀这3个主要失效因素进行了更为详细的分析.基于以上对业界研究工作的总结和分析,最后对实际工作中遇到的VCSEL失效案例进行简单的介绍,为VCSEL学者、研发设计、制造和使用人员提供一个较为全面的失效分析案例库.
文献关键词：
VCSEL;氧化物;失效模式和机理;可靠性
中图分类号：
作者姓名：
张玉岐;左致远;阚强;赵佳
作者机构：
山东大学 激光与红外系统集成技术教育部重点实验室,山东青岛 266237;厦门市三安集成电路有限公司,福建厦门 361000;中国科学院半导体研究所,北京 100083;山东大学 信息科学与工程学院,山东青岛 266237
文献出处：
引用格式：
[1]张玉岐;左致远;阚强;赵佳-.氧化型垂直腔面发射激光器的常见失效模式和机理分析)[J].中国光学,2022(02):187-209
A类：
失效模式和机理
B类：
垂直腔面发射激光器,机理分析,VCSEL,光通信,高寿,失效率,提升器,器件设计,加工制造,产生原因,改善措施,措施和建议,静电放电,湿气,失效因素,总结和分析,失效案例,研发设计,失效分析,案例库
AB值：
0.327239
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