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多结级联垂直腔面发射激光器失效分析
文献摘要：
对自主研发的940 nm大功率三结垂直腔面发射激光器(VCSEL)单点器件的高温高电流老化失效后的器件进行了失效分析研究.首先,通过热阻测试确定了加速老化实验的结温,并计算了老化加速因子为104.随后,对老化过程中产生的失效器件进行失效分析.通过老化前后器件L-I-V、正反向V-I、光学及红外外观、近场光斑及透射电子显微镜(TEM)研究了器件老化前后性能及发光模式变化,确定了器件的失效位置,分析了失效原因,并通过TEM图像确认了器件失效是由P-DBR中的位错生长导致.本文为国际首次对多结VCSEL器件失效分析的研究报道,对继续优化VCSEL内部结构设计及提升工艺控制能力、提高多结VC-SEL器件寿命及可靠性具有一定指导意义.
文献关键词：
垂直腔面发射激光器;多结;失效分析;可靠性
中图分类号：
作者姓名：
刘畅;肖垚;刘恒;邓国亮;苗霈;王俊
作者机构：
四川大学 电子信息学院,四川 成都 610041;苏州长光华芯光电技术股份有限公司, 江苏 苏州 215163
文献出处：
引用格式：
[1]刘畅;肖垚;刘恒;邓国亮;苗霈;王俊-.多结级联垂直腔面发射激光器失效分析)[J].发光学报,2022(03):388-395
A类：
多结级联
B类：
垂直腔面发射激光器,失效分析,大功率,VCSEL,单点,老化失效,热阻测试,加速老化实验,结温,加速因子,老化过程,正反,近场,光斑,透射电子显微镜,TEM,发光模式,失效位置,失效原因,DBR,位错,内部结构设计,工艺控制,控制能力,寿命及可靠性
AB值：
0.315295
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