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位置敏感探测器光斑脱靶误差补偿方法研究
文献摘要：
为了提高位置敏感探测器(PSD)的位置检测范围,解决光斑在探测器光敏面脱靶时无法准确定位光斑的问题,提出一种光斑脱靶误差补偿方法,分析了脱靶前后PSD检测光斑能量重心变化规律,建立了 PSD光强信号与位置检测误差间的函数关系.实验结果表明:当PSD光敏面尺寸为12 mm×12 mm时,对于半径为5 mm的高斯光斑,通过所提出的光斑补偿方案补偿后PSD的X轴检测范围提高了 66.7％,位置检测平均相对误差不超过5％,该方法对提高PSD位置检测性能具有重要的意义.
文献关键词：
测量;位置敏感探测器;高斯光斑;误差补偿
中图分类号：
作者姓名：
李鑫;米良
作者机构：
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,成都610000
文献出处：
引用格式：
[1]李鑫;米良-.位置敏感探测器光斑脱靶误差补偿方法研究)[J].半导体光电,2022(06):1136-1141
A类：
B类：
位置敏感探测器,脱靶,误差补偿,补偿方法,PSD,位置检测,检测范围,光敏,准确定位,测光,重心变化,检测误差,函数关系,高斯光斑,过所,平均相对误差,检测性能
AB值：
0.249233
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