典型文献
任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学
文献摘要：
为了突破传统理论、数值模拟和实验教学的局限性,进一步提升教学质量,培养专业领域创新人才,建设了任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学资源.基于自主研发的任意横向掺杂设计工具miniVLD,对半导体工艺仿真软件、器件模拟软件和版图设计软件进行二次开发,包含掩模板设计、虚拟制造、虚拟测试、版图设计4部分.该虚拟仿真实验具备自主开发、理念先进、综合性、创新性和工程性强等优点,为复杂理论实践教学提供了典型案例.
文献关键词：
任意横向掺杂;半导体功率器件;掩模版设计;虚拟制造;虚拟测试;版图设计
中图分类号：
作者姓名：
李曼;杨可萌;郭宇锋;顾世浦;姚佳飞;张珺;张茂林
作者机构：
南京邮电大学 集成电路科学与工程学院,信息电子技术国家级虚拟仿真实验教学中心,电子科学与技术国家级实验教学中心,江苏 南京 210023
文献出处：
引用格式：
[1]李曼;杨可萌;郭宇锋;顾世浦;姚佳飞;张珺;张茂林-.任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学)[J].实验技术与管理,2022(04):104-110
A类：
任意横向掺杂,miniVLD,掩模版设计
B类：
半导体功率器件,虚拟仿真实验教学,设计工具,半导体工艺,工艺仿真,版图设计,设计软件,二次开发,掩模板,模板设计,虚拟制造,虚拟测试,自主开发,复杂理论,理论实践教学
AB值：
0.200619
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