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DBR膜厚偏差对蓝光VCSEL的激光输出影响
文献摘要：
半导体技术进步的前提是制造设备的不断升级,半导体在很多领域的应用都受到设备能力的限制,导致相关技术长时间不能推进.半导体VCSEL激光器对成膜设备的要求很高,如果成膜设备的精准度达不到纳米级别,则制造高性能的VCSEL激光器十分困难.研究VCSEL激光器的DBR膜厚偏差对其性能的影响,当膜厚偏差1～2 nm时,由DBR决定的谐振波长产生红移或蓝移,VCSEL激光器不能产生较强的自激振荡,衰减激光器的激光输出.
文献关键词：
膜厚;分布式布拉格反射镜;反射率;波长
中图分类号：
作者姓名：
黄晶;徐旭雄
作者机构：
上饶职业技术学院,江西 上饶334109
文献出处：
引用格式：
[1]黄晶;徐旭雄-.DBR膜厚偏差对蓝光VCSEL的激光输出影响)[J].灯与照明,2022(02):53-54,58
A类：
B类：
DBR,蓝光,VCSEL,激光输出,半导体技术,制造设备,激光器,成膜,纳米级,十分困难,谐振,红移,蓝移,自激振荡,分布式布拉格反射镜,反射率
AB值：
0.250536
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