典型文献
结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产关键节点
文献摘要：
随着半导体工业的快速发展,其对各种材料的纯度提出了不同要求,尤其是集成电路技术的发展,要求芯片的尺寸越来越大,缺陷的密度越来越小,而多晶硅的纯度也越来越高.由于我国目前现行电子级多晶硅的质量以其纯度为依据,即纯度越高品质越高,因此必须要对每一项工艺技术都进行严密的检查,这也意味着电子级多晶硅从一开始的设计到生产,都要严格遵循国家标准;高品质的电子级多晶硅的提纯和生产工艺就成为关注重点.基于现行GB/T12963-2014标准为例,本文结合目前电子级多晶硅执行的国家标准进行了简述,围绕电子级多晶硅生产的关键技术进行了分析和讨论,并提出一些工艺中提升高品质电子级多晶硅产品品质的对策建议.
文献关键词：
电子级多晶硅;国家标准;生产工艺;关键节点
中图分类号：
作者姓名：
张云峰
作者机构：
新特能源股份有限公司,新疆 乌鲁木齐 830011
文献出处：
引用格式：
[1]张云峰-.结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产关键节点)[J].中国战略新兴产业,2022(20):66-68
A类：
电子级多晶硅,T12963
B类：
多晶硅生产,关键节点,集成电路,每一项,工艺技术,一开,提纯,关注重点,产品品质
AB值：
0.082172
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