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溶胶—凝胶法制备P型氧化物薄膜晶体管的研究进展
文献摘要：
目前,关于氧化物薄膜晶体管(TFT)的报道大部分是关于n型的.为进一步扩大集成电路的应用范围,需要制造稳定、高性能的P型氧化物TFT.传统的真空镀膜技术依赖于昂贵的设备、苛刻的真空环境等,不仅增加了生产成本,而且不利于大面积器件的制备.溶胶—凝胶法工艺成本低,操作简单,易实现大规模制备.文章重点阐述了溶胶—凝胶法和几种典型P型氧化物半导体材料,并介绍了其典型的应用领域.
文献关键词：
薄膜晶体管;P型半导体材料;溶胶—凝胶法
中图分类号：
作者姓名：
张加乐;袁星;王永康;曾思哲;邓申毅;窦威
作者机构：
湖南师范大学物理与电子科学学院,湖南长沙 410081
文献出处：
引用格式：
[1]张加乐;袁星;王永康;曾思哲;邓申毅;窦威-.溶胶—凝胶法制备P型氧化物薄膜晶体管的研究进展)[J].科技经济市场,2022(01):14-16
A类：
B类：
溶胶,凝胶法,氧化物薄膜晶体管,TFT,大集,集成电路,真空镀膜,膜技术,技术依赖,昂贵,苛刻,真空环境,大面积器件,模制,氧化物半导体,半导体材料
AB值：
0.309855
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