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单晶硅超声振动辅助切削亚表面裂纹损伤检测算法
文献摘要：
为降低加工零件亚表面损伤程度,提出基于机器视觉的单晶硅超声振动辅助切削亚表面裂纹损伤检测算法.搭建了一套单晶硅表面图像采集装置,选择合适的光源采集分辨率较高的裂纹损伤图像,使用高斯核和图像熵提取裂纹损伤特征点和特征尺度,将裂纹特征与高斯函数的二阶导结合作卷积处理,用于裂纹损伤检测,以多个特征尺度下的最大值作为检测结果.实验结果表明:设计的基于机器视觉的检测算法检测精度能够达到0.9以上,检测效果较好.
文献关键词：
机器视觉;单晶硅;超声振动;亚表面;裂纹损伤检测
中图分类号：
作者姓名：
程钢;郝兆朋;张卓
作者机构：
长春工业大学机电工程学院,长春130122;长春工业大学人文信息学院,长春130122
文献出处：
引用格式：
[1]程钢;郝兆朋;张卓-.单晶硅超声振动辅助切削亚表面裂纹损伤检测算法)[J].吉林大学学报（工学版）,2022(05):1016-1021
A类：
亚表面裂纹损伤
B类：
单晶硅,超声振动辅助切削,裂纹损伤检测,检测算法,零件,亚表面损伤,机器视觉,表面图像,图像采集,采集装置,光源,高斯核,和图像,图像熵,损伤特征,特征点,特征尺度,裂纹特征,高斯函数,卷积处理,检测精度,检测效果
AB值：
0.222626
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