典型文献
钛镓掺杂氧化锌透明半导体薄膜的光电性能研究
文献摘要：
以玻璃作为衬底，采用射频磁控溅射技术，制备了钛镓掺杂氧化锌（TiGaZnO）透明半导体薄膜，通过紫外-可见分光光度计和霍耳效应测试系统表征，研究了沉积气压对样品光学和电学性能的影响。结果表明：所有薄膜样品在可见光波段都具有良好的透光性，其可见光平均透射率均高于81.0%。同时沉积气压对薄膜光学和电学性能也具有明显的影响，当沉积气压为0.4 Pa时，TiGaZnO薄膜具有相对高的品质因数（4.034 × 103Ω-1?cm-1）和低的电阻率（1.685 × 10-3Ω?cm），其光电综合性能较好。
文献关键词：
磁控溅射技术;透明半导体;光电性能
中图分类号：
作者姓名：
顾锦华;万鑫;龙浩;陈首部;钟志有
作者机构：
中南民族大学 实验教学与工程训练中心、智能无线通信湖北省重点实验室,武汉 430074;中南民族大学 电子信息工程学院,武汉 430074;中南民族大学 智能无线通信湖北省重点实验室、电子信息工程学院,武汉 430074
文献出处：
引用格式：
[1]顾锦华;万鑫;龙浩;陈首部;钟志有-.钛镓掺杂氧化锌透明半导体薄膜的光电性能研究)[J].中南民族大学学报（自然科学版）,2022(06):676-681
A类：
透明半导体,TiGaZnO,霍耳效应
B类：
镓掺杂,氧化锌,半导体薄膜,光电性能,衬底,射频磁控溅射,磁控溅射技术,分光光度计,测试系统,沉积气压,电学性能,可见光波段,透光性,透射率,薄膜光学,Pa,品质因数,电阻率
AB值：
0.247091
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