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基于石英晶体微天平的质量型湿敏传感器研究进展
文献摘要：
石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance,QCM)作为一种质量敏感型的传感器,具有高精度(可达纳克级)、实时数字频率输出、操作简单等优点,近年来被广泛应用于湿度监测领域.国内外的众多研究者们通过不断革新QCM湿敏传感材料,使得QCM湿敏传感器性能得到大幅提升.本文分析了QCM的结构和工作原理,并阐述了近几年基于二维材料、金属氧化物和聚合物等湿敏材料研制的高灵敏QCM湿度传感器及其在呼吸监测、疾病诊断、皮肤湿度和物体含水率监测方面的应用研究进展.
文献关键词：
石英晶体微天平;湿度;综述;传感器;二维材料;金属氧化物;聚合物
中图分类号：
作者姓名：
孟兰;颜炜钰;张浩;张冬至
作者机构：
中国石油大学(华东) 控制科学与工程学院, 山东 青岛 266580;中国石油大学(华东)机电工程学院, 山东 青岛 266580
文献出处：
引用格式：
[1]孟兰;颜炜钰;张浩;张冬至-.基于石英晶体微天平的质量型湿敏传感器研究进展)[J].电子元件与材料,2022(08):794-801,809
A类：
Microbalance
B类：
石英晶体微天平,质量型,Quartz,Crystal,QCM,敏感型,达纳,纳克,字频,传感材料,传感器性能,二维材料,金属氧化物,湿敏材料,高灵敏,湿度传感器,呼吸监测,疾病诊断
AB值：
0.312638
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