典型文献
石墨烯MIS结宽光谱光电特性的研究
文献摘要：
Ge基光电探测器具有独特的通信带宽响应特性和良好的CMOS工艺兼容性,在光电探测方面具有广阔的应用前景.但目前商用探测器的响应波段普遍局限在某一波段,难以满足多波段融合、小型化的探测需求.因此,通过在多层石墨烯和N型Ge之间引入薄的Si02界面层,制备了基于石墨烯金属-绝缘层-半导体(MIS)结的光电探测器,分析了 SiO2的厚度以及石墨烯层数对MIS结器件性能的影响,并测试了器件的光谱响应范围、电流-电压曲线、响应度、开关比等光电特性.结果表明,该器件在254～2200 nm波段内均有响应,在980 nm处的响应度和开关比达到峰值,分别为78.36 mA/W和1.74×103,上升时间和下降时间分别为1 ms和3 ms.
文献关键词：
探测器;石墨烯;Ge基光电探测器;宽波段;红外光电探测器
中图分类号：
作者姓名：
李蓓l;蔡长龙;梁海锋;范飞虎;屠奔
作者机构：
西安工业大学兵器科学与技术学院,陕西西安710021;西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710021
文献出处：
引用格式：
[1]李蓓l;蔡长龙;梁海锋;范飞虎;屠奔-.石墨烯MIS结宽光谱光电特性的研究)[J].激光与光电子学进展,2022(19):123-130
A类：
B类：
MIS,宽光谱,光电特性,Ge,通信带宽,响应特性,CMOS,工艺兼容性,商用,多波段,小型化,多层石墨烯,Si02,界面层,绝缘层,SiO2,层数,器件性能,光谱响应,响应范围,电压曲线,响应度,开关比,比达,mA,上升时间,下降时间,ms,宽波段,红外光电探测器
AB值：
0.342547
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