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石墨烯MIS结宽光谱光电特性的研究
文献摘要：
Ge基光电探测器具有独特的通信带宽响应特性和良好的CMOS工艺兼容性，在光电探测方面具有广阔的应用前景。但目前商用探测器的响应波段普遍局限在某一波段，难以满足多波段融合、小型化的探测需求。因此，通过在多层石墨烯和N型Ge之间引入薄的SiO2界面层，制备了基于石墨烯金属-绝缘层-半导体（MIS）结的光电探测器，分析了SiO2的厚度以及石墨烯层数对MIS结器件性能的影响，并测试了器件的光谱响应范围、电流-电压曲线、响应度、开关比等光电特性。结果表明，该器件在254~2200 nm波段内均有响应，在980 nm处的响应度和开关比达到峰值，分别为78.36 mA/W和1.74×103，上升时间和下降时间分别为1 ms和3 ms。
文献关键词：
探测器;石墨烯
中图分类号：
作者姓名：
李蓓;蔡长龙;梁海锋;范飞虎;屠奔
作者机构：
西安工业大学兵器科学与技术学院，陕西 西安 710021;西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，陕西 西安 710021
文献出处：
引用格式：
[1]李蓓;蔡长龙;梁海锋;范飞虎;屠奔-.石墨烯MIS结宽光谱光电特性的研究)[J].激光与光电子学进展,2022(19):1904001
A类：
B类：
MIS,宽光谱,光电特性,Ge,光电探测器,通信带宽,响应特性,CMOS,工艺兼容性,商用,多波段,小型化,多层石墨烯,SiO2,界面层,绝缘层,层数,器件性能,光谱响应,响应范围,电压曲线,响应度,开关比,比达,mA,上升时间,下降时间,ms
AB值：
0.363228
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