典型文献
应用于集成光学陀螺敏感单元的硅基微环谐振腔
文献摘要：
硅基光子集成谐振腔作为光学敏感单元对芯片级光学陀螺的性能起着至关重要的作用.以互易敏感增强型双微环架构的光子集成陀螺谐振腔为研究对象,通过时域有限差分法仿真分析了双微环谐振腔的关键结构参数,并通过搭建仿真链路研究了微环谐振腔的品质因子、精细度与耦合系数、传输损耗的内在关系.在此基础上,选取典型结构参数设计版图,基于无源硅基光子集成工艺的多项目晶圆流片制备了双微环谐振腔器件.测试结果表明,当微环半径为500 μm、波导与微环的耦合系数为0.3时,在工作波长1550 nm附近微环的自由光谱范围为0.182 nm,3 dB带宽为0.045nm,精细度为4.04,品质因子约为3.4×104.本研究结果为双微环谐振腔的进一步优化设计提供了依据.
文献关键词：
集成光学;陀螺;双微环谐振腔;绝缘体上硅;耦合系数;品质因子
中图分类号：
作者姓名：
孙道鑫;张东亮;毕付;鹿利单;周哲海;祝连庆
作者机构：
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院光电测试技术及仪器教育部重点实验室,北京100192;北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院光纤传感与系统北京实验室,北京100016
文献出处：
引用格式：
[1]孙道鑫;张东亮;毕付;鹿利单;周哲海;祝连庆-.应用于集成光学陀螺敏感单元的硅基微环谐振腔)[J].激光与光电子学进展,2022(13):269-276
A类：
双微环谐振腔,045nm
B类：
集成光学,光学陀螺,硅基光子,光子集成,芯片级,互易,增强型,时域有限差分法,链路,品质因子,精细度,耦合系数,传输损耗,内在关系,结构参数设计,版图,无源,多项目,晶圆,流片,波导,自由光谱范围,dB,绝缘体上硅
AB值：
0.249344
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