典型文献
一种新型铂铑薄膜热电偶的制备及其性能测试
文献摘要：
为满足快速测量火工品发火温度的需要,研制了一种以铂铑(PtRh)作为偶极材料的快速响应S型铂铑薄膜热电偶.使用丝网印刷技术,通过光刻制成网版,制备铂-铂铑(Pt-PtRh)偶结点及蛇形微换能元,再经过高温马弗炉烧结工艺完成薄膜热电偶的制备得到样品,最后测试了样品的静态特性和动态特性.实验结果表明,研制的薄膜热电偶的静态性能与标准S型热电偶的热电动势曲线具有较高的吻合度,且薄膜热电偶在低温段(50～600℃)的精度约为1.24％,在高温段(600～1 500℃)约为1.05％.时间常数为530 μs.研制的新型铂-铂铑薄膜热电偶具有快速响应、高精度及耐高温等特点,可满足快速测量火工品发火温度的需求.
文献关键词：
薄膜热电偶;铂铑;丝网印刷;偶极材料;动态响应
中图分类号：
作者姓名：
张秋宁;张志杰;陈昊泽
作者机构：
中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]张秋宁;张志杰;陈昊泽-.一种新型铂铑薄膜热电偶的制备及其性能测试)[J].微纳电子技术,2022(05):473-479,493
A类：
偶极材料
B类：
铂铑,薄膜热电偶,快速测量,火工品,发火,火温,PtRh,快速响应,丝网印刷,印刷技术,光刻,刻制,结点,蛇形,换能元,再经,温马,马弗炉,烧结工艺,后测,静态特性,动态特性,静态性能,电动势,吻合度,低温段,时间常数,耐高温,动态响应
AB值：
0.322457
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